CIQTEK SEM5000X es un microscopio electrónico de barrido por emisión de campo (FE-SEM) de resolución ultraalta con una resolución innovadora de 0,6 nm a 15 kV y 1,0 nm a 1 kV.
Al beneficiarse del proceso de ingeniería de columnas mejorado, la tecnología "SuperTunnel" y el diseño de lentes de objetivo de alta resolución, el SEM5000X puede lograr mejoras adicionales en la resolución de imágenes de bajo voltaje. Los puertos de la cámara de muestras se extienden a 16 y el bloqueo de carga de intercambio de muestras admite un tamaño de oblea de hasta 8 pulgadas (diámetro máximo 208 mm), ampliando enormemente las aplicaciones. cobertura. Los modos de escaneo avanzados y las funciones automatizadas mejoradas brindan un rendimiento más sólido y una experiencia aún más optimizada.
(*Accesorios Opcionales)
Parámetros clave | Resolución | 0,6 nm a 15 kV, SE 1,0 nm a 1 kV, SE |
Voltaje de aceleración | 20 V ~ 30 kV | |
Aumento | 1 ~ 2.500.000x | |
Tipo de pistola de electrones | Pistola de electrones de emisión de campo Schottky | |
Cámara de muestras |
Sistema de vacío
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Control totalmente automatizado |
Cámaras | Cámaras duales (navegación óptica + monitor de cámara) | |
Tipo de etapa | Etapa de muestra eucéntrica mecánica de 5 ejes | |
rango de escenario | X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10*~+70°, R: 360° |
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Detectores y Extensiones | Estándar | Detector en lente Detector Everhart-Thornley (ETD) |
Opcional | Detector retráctil de electrones retrodispersados (BSED) Detector de microscopía electrónica de transmisión de barrido retráctil (STEM) Espectrómetro de dispersión de energía (EDS) Patrón de difracción de electrones retrodispersados (EBSD) Bloqueo de carga para intercambio de muestras (4" y 8" opcional) Trackball y Panel de control de perillas Desaceleración en tándem de la etapa de muestra Campo magnético y Sistema de recinto contra ruido acústico (certificado SEMI) |
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Software | Idiomas | Inglés |
Sistema operativo | ventanas |
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Navegación | Nav-Cam, navegación rápida por gestos |
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Funciones automáticas | Brillo y brillo automáticos. Contraste, enfoque automático, estigmador automático |