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FESEM de resolución ultraalta | SEM5000X

Microscopía electrónica de barrido por emisión de campo de resolución ultraalta (FESEM): 0,6 nm a 15 kV y 1,0 nm a 1 kV

El CIQTEK SEM5000X FESEM de resolución ultra alta utiliza el proceso de ingeniería de columnas mejorado, la tecnología "SuperTunnel" y el diseño de lente objetivo de alta resolución para mejorar la resolución de imágenes de bajo voltaje.

Los puertos de la cámara de muestras FESEM SEM5000X se extienden a 16 y el bloqueo de carga de intercambio de muestras admite un tamaño de oblea de hasta 8 pulgadas (diámetro máximo 208 mm), lo que amplía significativamente las aplicaciones. Los modos de escaneo avanzados y las funciones automatizadas mejoradas brindan un rendimiento más sólido y una experiencia aún más optimizada.

Especificaciones de CIQTEK FESEM SEM5000X

Parámetros clave Resolución

0,6 nm a 15 kV, EE

1,0 nm a 1 kV, EE

Voltaje de aceleración 0,02~30 kV
Ampliación 1~2.500.000 x
Tipo de pistola de electrones Cañón de electrones de emisión de campo Schottky
Cámara de muestras
Sistema de vacío
Control totalmente automatizado
Cámaras Cámaras duales (navegación óptica + monitor de cámara)
Tipo de etapa Plataforma de muestra eucéntrica mecánica de 5 ejes
Rango de escenario

X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm

T: -10*~+70°, R: 360°

Detectores y extensiones SEM Estándar

Detector en lente

Detector Everhart-Thornley (ETD)

Opcional

Detector retráctil de electrones retrodispersados ​​(BSED)

Detector retráctil de microscopía electrónica de transmisión de barrido (STEM)

Espectrómetro de dispersión de energía (EDS/EDX)

Patrón de difracción de retrodispersión de electrones (EBSD)

Bloqueo de carga para intercambio de muestras (4" y 8" opcional)

Panel de control de perillas y trackball

Desaceleración en tándem de la etapa de muestra

Sistema de envolvente para campo magnético y ruido acústico (certificado SEMI)

Software Idiomas

inglés

Sistema operativo

Windows

Navegación

Nav-Cam, navegación rápida por gestos

Funciones automáticas

Brillo y contraste automáticos, enfoque automático, estigmador automático

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