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CIQTEK is the manufacturer and global supplier of high-value scientific instruments, such as Scanning Electron Microscopes (SEM and FIB-SEM), Electron Paramagnetic Resonance (Electron Spin Resonance) Spectroscopy, Scanning NV Probe Microscope, Gas Adsorption Analyzer, etc.
sem electron microscope

SEM de alta velocidad | HEM6000

Microscopio electrónico de barrido de alta velocidad para obtener imágenes a escala cruzada de muestras de gran volumen

CIQTEK HEM6000 dispone de tecnologías como el cañón de electrones de corriente de haz grande y alto brillo, el sistema de desviación del haz de electrones de alta velocidad, la desaceleración de la etapa de muestra de alto voltaje, el eje óptico dinámico y la lente de objetivo combinada electrostática y electromagnética de inmersión para lograr una alta -Adquisición de imágenes rápida y al mismo tiempo garantiza una resolución a escala nanométrica.

El proceso de operación automatizado está diseñado para aplicaciones como un flujo de trabajo de imágenes de alta resolución de áreas grandes más eficiente e inteligente. La velocidad de obtención de imágenes puede alcanzar más de 5 veces más que la de un microscopio electrónico de barrido por emisión de campo convencional (fesem).

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Sistemas electroópticos Resolución 1,3 nm@3 kV, SE; 2,2 nm@1 kV, SE
1,9 nm a 3 kV, EEB; 3,3 nm@1 kV, EEB
Ampliación 66 - 1.000.000x
Voltaje de aceleración 0,1 kV - 6 kV (modo de desaceleración)
6 kV - 30 kV (modo sin desaceleración)
Cañón de electrones Cañón de electrones de emisión de campo Schottky de alto brillo
Tipo de lente objetivo Lente de objetivo combinado de inmersión electromagnética y electrostática
Sistema de carga de muestras Sistema de vacío Sistema de vacío sin aceite completamente automático
Monitoreo de muestras Cámara de monitoreo de cámara principal horizontal; cámara de monitoreo de cámara de bloqueo de carga de intercambio de muestra vertical
Tamaño máximo de muestra 4 pulgadas de diámetro
Etapa de muestra
 Tipo Platina de muestras motorizada de 3 ejes (*placa de muestras accionada piezoeléctrica opcional)
Rango de recorrido X, Y: 110 mm; Z: 28 mm
Repetibilidad X: ±0,6 µm; Y: ±0,3 µm
Intercambio de muestras
 Completamente automático
Duración del intercambio de muestras ï¼15 min
Limpieza de la cámara de bloqueo de carga Sistema de limpieza por plasma completamente automático
Adquisición y procesamiento de imágenes Tiempo de permanencia 10 ns/píxel
Velocidad de adquisición 2*100 M píxeles/s
Tamaño de imagen 8K*8K
Detectores y accesorios
 Configuración estándar Detector de electrones en la lente
Configuración opcional
 Detector de electrones retrodispersados ​​de ángulo bajo
Detector de electrones retrodispersados ​​de alto ángulo en columna
Plataforma de muestra accionada piezoeléctrica
Modo FOV grande de alta resolución (SW)
Sistema de limpieza de plasma de la cámara Loadlock
Sistema de carga de muestras de 6 pulgadas
Plataforma antivibración activa
Reducción de ruido de IA; costura de campo de gran área; Reconstrucción 3D
Interfaz de usuario
 Idioma inglés
SO Windows
Navegación Navegación óptica, navegación rápida por gestos
Función automática Reconocimiento automático de muestras, selección automática del área de imágenes, brillo y contraste automáticos, enfoque automático, estigmador automático
  • Automatización de alta velocidad
    Proceso de carga y descarga de muestras completamente automático y operación de adquisición de imágenes, lo que hace que la velocidad general de obtención de imágenes sea 5 veces más rápida que la del FESEM convencional
  • Gran campo de visión
    La tecnología que desplaza dinámicamente el eje óptico según el rango de desviación de escaneo logra una distorsión mínima de los bordes
  • Baja distorsión de imagen
    La tecnología de desaceleración en tándem de la etapa de muestra logra una baja energía de aterrizaje y al mismo tiempo obtiene imágenes de alta resolución

High Speed SEM HEM6000

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