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Microscopia electrónica de barrido (SEM) de alta velocidad | HEM6000

Alta velocidad Emisión de campo totalmente automatizada Microscopio electrónico de barrido Puesto de trabajo

CIQTEK HEM6000 tecnologías de instalaciones como el cañón de electrones de corriente de haz grande de alto brillo, sistema de deflexión de haz de electrones de alta velocidad, desaceleración de etapa de muestra de alto voltaje, eje óptico dinámico y lente objetivo combinado electromagnético y electrostático de inmersión para lograr una adquisición de imágenes de alta velocidad al tiempo que se garantiza una resolución a escala nanométrica.

El proceso de operación automatizada está diseñado para aplicaciones como un flujo de trabajo de imágenes de alta resolución de áreas extensas más eficiente e inteligente. Su velocidad de captura de imágenes es cinco veces mayor que la de un microscopio electrónico de barrido por emisión de campo (FESEM) convencional.

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HEM6000-Semi HEM6000-Bio HEM6000-Lit
Bajo voltaje y alta resolución Bajo voltaje y alta resolución Operación simplificada
Gran campo de visión Diversos algoritmos automatizados para el campo biológico Abundantes opciones de selección
Algoritmos especialmente optimizados para una fácil alineación de muestras altamente repetitivas Detector de EEB optimizado para aplicaciones biológicas Flujo de trabajo automatizado de alta velocidad
Deflexión electrostática de cinco etapas Sistema de reconstrucción biológica 3D
  • Automatización de alta velocidad
    Proceso de carga y descarga de muestras totalmente automático y operación de adquisición de imágenes, lo que hace que la velocidad general de obtención de imágenes sea 5 veces más rápida que la del FESEM convencional.
  • Gran campo de visión
    Tecnología que desplaza dinámicamente el eje óptico según el rango de deflexión de escaneo, logrando una distorsión mínima del borde.
  • Baja distorsión de imagen
    La tecnología de desaceleración en tándem de la platina de muestra logra una energía de aterrizaje baja, a la vez que obtiene imágenes de alta resolución.

High Speed SEM HEM6000

Especificaciones del microscopio SEM de alta velocidad CIQTEK HEM6000 HEM6000-Semi HEM6000-Bio HEM6000-Lite
Óptica electrónica Resolución 1,5 nm a 1 kV SE 1,8 nm a 1 kV BSE 1,5 nm a 15 kV BSE
Voltaje de aceleración 0,1 kv~6 kV (modo de desaceleración) 6 kV~30 kV (modo sin desaceleración) 6 kV ~ 30 kV
Aumento 66~1.000.000x
Cañón de electrones Cañón de electrones de emisión de campo Schottky de alto brillo
Tipo de lente objetivo Lente objetivo combinada electromagnética y electrostática de inmersión
Deflector electrostático Cinco etapas Cuatro etapas Cuatro etapas
Sistema de carga de muestras Sistema de vacío Sistema de vacío totalmente automático sin aceite
Monitoreo de muestras Cámara de monitoreo de cámara principal horizontal; cámara de monitoreo de cámara de carga de intercambio de muestra vertical
Tamaño máximo de la muestra 4 pulgadas de diámetro
Tipo de platina de muestra Platina de muestra motorizada de 3 ejes (*placa de muestra accionada piezoeléctricamente opcional)
Etapa de muestra de recorrido X, Y: 110 mm; Z: 16 mm
Repetibilidad de la etapa de muestra X: ±0,6 μm; Y: ±0,3 μm
Intercambio de muestras Completamente automático
Duración del intercambio de muestras <15 minutos
Limpieza de la cámara de carga Sistema de limpieza de plasma completamente automático
Adquisición y procesamiento de imágenes Tiempo de permanencia 10 ns/píxel
Velocidad de adquisición 2*100 M píxeles/s
Tamaño de la imagen 16 K*16 K
Detector y accesorios Detector de electrones retrodispersados retráctil de ángulo bajo Opcional Ninguno Estándar
Detector de electrones retrodispersados de ángulo bajo, montaje inferior Opcional Estándar Ninguno
Detector de electrones general en columna Estándar Opcional Opcional
Detector de electrones retrodispersados de alto ángulo en columna Opcional Opcional Opcional
Platina de muestra accionada piezoeléctricamente Opcional Opcional Opcional
Modo de campo de visión amplio de alta resolución (SW) Opcional Ninguno Ninguno
Sistema de limpieza por plasma de cámara Loadlock Opcional Opcional Opcional
Sistema de carga de muestras de 6 pulgadas Opcional Opcional Opcional
Plataforma antivibración activa Opcional Opcional Opcional
Reducción de ruido de aluminio; unión de campos de área grande; reconstrucción 3D Opcional Opcional Opcional
Interfaz de usuario Idioma Inglés
Sistema operativo Ventanas
Navegación Navegación óptica, navegación por gestos
Función automática Reconocimiento automático de muestras, selección automática del área de imagen, brillo y contraste automáticos, enfoque automático, estigmatizador automático
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