fesem edx

Ultra-High Res Fesem | SEM5000X

Microscopía electrónica de barrido de emisión de campo de resolución ultra alta (FESEM)

El CIQTEK SEM5000X es un FESEM de resolución ultra alta con un diseño optimizado de columna de óptica de electrones, reduciendo las aberraciones generales en un 30%, logrando una resolución ultra alta de 0.6 nm@15 kV y 1.0 nm@1 kV Su alta resolución y estabilidad lo hacen ventajoso en la investigación avanzada de materiales nanoestructurales, así como en el desarrollo y fabricación de chips de semiconductores de nodos de alto tecnología.

●–¶ Óptica de electrones

SEM5000X Electron Optics

Actualización de lentes objetivos

La aberración cromática del lente se redujo en un 12%, la aberración esférica de la lente se redujo en un 20%y la aberración general se redujo en un 30%

SEM5000X Electron Optics

Tecnología de desaceleración de doble haz

Desaceleración del haz de lente, aplicable a muestras con grandes volúmenes, secciones transversales y superficies irregulares La tecnología de desaceleración dual (desaceleración del haz de lente + desaceleración del haz en tándem de la etapa de muestra) desafía los límites de los escenarios de captura de señal de la superficie de la muestra


●–¶ Imágenes de alta resolución de bajo voltaje


●–¶ Detector de electrones en lente / muestra


●–¶ Detector Everhart-Thornley (ETD)


●–¶ Detector de electrones con dispersión retrosable (BSED) retrayable (BSED)*Opcional

FESEM Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED)

●–¶ Modo ECCI basado en BSED (imágenes de contraste de canalización de electrones)

El "efecto de canalización de electrones" se refiere a una reducción significativa en la dispersión de electrones por redes de cristal, cuando el haz de electrones incidentes satisface la condición de difracción de Bragg, lo que permite que una gran cantidad de electrones pasen a través de la red, exhibiendo así un efecto de "canalización"

Para los materiales policristalinos con composición uniforme y superficies planas pulidas, la intensidad de los electrones retrodispersados ​​se basa en la orientación relativa entre el haz de electrones incidentes y los planos de cristal Los granos con una mayor variación de orientación exhiben señales más fuertes, por lo tanto, se logra imágenes más brillantes, caracterización cualitativa con dicho mapa de orientación de grano


●–¶ Simultáneamente imágenes de multicanal a través de varios detectores


●–¶ Detector de microscopía electrónica de transmisión de escaneo retráctil (STEM)

FESEM Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Detector

>> múltiples modos de operación: Imágenes de campo brillante (BF), imágenes de campo oscuro (DF), imágenes de campo oscuro anular de gran ángulo (HAADF)


●–¶ Avances en la microscopía electrónica CIQTEK: más opciones

>> espectrometría dispersiva de energía

  • Energy Dispersive Spectrometry

>>Catoluminiscencia

  • sem image analysis -Catholuminescence
  • sem image analysis - Catholuminescence

>>EBSD

  • sem EBSD
  • sem EBSD

●–¶ Software de análisis de partículas y poros (partícula) *Opcional

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

El software de microscopio CIQTek SEM emplea varios algoritmos de detección y segmentación de objetivos, adecuados para diferentes tipos de muestras de partículas y poros Permite el análisis cuantitativo de las estadísticas de partículas y poros y puede aplicarse en campos como la ciencia de los materiales, la geología y la ciencia ambiental


●–¶ Software de postprocesamiento de imágenes*Opcional

SEM Microscope Image Post-processing Software

Realice el procesamiento de imágenes de imagen en línea o fuera de línea en imágenes capturadas por microscopios electrónicos e integre funciones de procesamiento de imágenes EM de uso común, medición conveniente y herramientas de anotación


●–¶ Medida automática *Opcional

SEM Microscope software Auto Measure

Reconocimiento automático de los bordes de ancho de línea, lo que resulta en mediciones más precisas y una mayor consistencia Admite múltiples modos de detección de borde, como línea, espacio, tono, etc compatible con múltiples formatos de imagen y equipados con varias funciones de postprocesamiento de imágenes de uso común El software es fácil de usar, eficiente y preciso


●–¶ Kit de desarrollo de software (SDK) *Opcional

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

Proporcione un conjunto de interfaces para controlar el microscopio SEM, incluida la adquisición de imágenes, la configuración de la condición operativa, el encendido/apagado, el control de la etapa, etc Las definiciones de interfaz concisas permiten el rápido desarrollo de scripts y software de operación de microscopio electrónicos específicos, que permite un seguimiento automatizado de regiones de interés, adquisición de datos de automatización industrial, corrección de la deriva de la imagen y otras funciones Se puede utilizar para el desarrollo de software en áreas especializadas como análisis de diatomeas, inspección de impurezas de acero, análisis de limpieza, control de materias primas, etc


●–¶ Autómata *Opcional

FESEM Microscope software Auto Measure

CIQTEK SEM5000X Especificaciones de microscopio FESEM
Óptica de electronesResolución0.6 nm @ 15 kV, SE
1.0 nm @ 1 kV, SE
Tensión de aceleración0 02KV ~ 30 kV
Aumento1 ~ 2,500,000 x
Tipo de pistola de electronesPistola de electrones de emisión de campo de Schottky
Cámara de muestraCámarasCámaras duales (navegación óptica + monitor de cámara)
Tipo de etapaEtapa de muestra eucéntrica mecánica de 5 ejes
Rango de etapasX = 110 mm, y = 110 mm, z = 65 mm
T: -10*~+70 °, R: 360 °
Detectores y extensiones SEMEstándarDetector en la lente
Detector Everhart-Thornley (ETD)
Opcional

Detector de electrones con dispersión retrosable (BSED) retrayable (BSED)

Detector de microscopía electrónica de transmisión de barrido retráctil (STEM)

Detector de baja vacío (LVD)

Espectrómetro de dispersión de energía (EDS / EDX)

Patrón de difracción de retroceso de electrones (EBSD)

Muestra de carga de intercambio (4 pulgadas / 8 pulgadas)

Panel de control de pistas de trackball & Knob

Modo Duo-DEC (Duo-DEC)

Interfaz de usuarioLenguasInglés
Sistema operativoWindows
NavegaciónNavegación óptica, navegación rápida de gestos, ballido (opcional)
Funciones automáticasBrillo automático y contraste, enfoque automático, estigmator automático

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