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FESEM de resolución ultraalta | SEM5000X

La microscopía electrónica de barrido por emisión de campo de resolución ultraalta (FESEM) desafía los límites

El CIQTEK SEM5000X es un FESEM de resolución ultraalta con un diseño de columna óptica electrónica optimizado, que reduce las aberraciones generales en un 30 % y logra una resolución ultraalta de 0,6 nm a 15 kV y 1,0 nm a 1 kV. . Su alta resolución y estabilidad lo hacen ventajoso en la investigación avanzada de materiales nanoestructurales, así como en el desarrollo y fabricación de chips CI semiconductores de nodos de alta tecnología.

ⶠÓptica electrónica

SEM5000X Electron Optics

Mejora de lente objetivo

La aberración cromática de la lente se redujo en un 12 %, la aberración esférica de la lente se redujo en un 20 % y la aberración general se redujo en un 30 %.

SEM5000X Electron Optics

Tecnología de desaceleración de doble haz

Desaceleración del haz dentro de la lente, aplicable a muestras con grandes volúmenes, secciones transversales y superficies irregulares. La tecnología de desaceleración dual (desaceleración del haz dentro de la lente + desaceleración del haz en tándem de la etapa de la muestra) desafía los límites de los escenarios de captura de señales de la superficie de la muestra.


ⶠImágenes de alta resolución de bajo voltaje


ⶠDetector de electrones en lente/muestra


ⶠDetector Everhart-Thornley (ETD)


ⶠDetector retráctil de electrones retrodispersados ​​(BSED) *Opcional

FESEM Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED)

ⶠModo ECCI (imágenes de contraste de canalización de electrones) basado en BSED

El "efecto de canalización de electrones" se refiere a una reducción significativa en la dispersión de electrones por las redes cristalinas, cuando el haz de electrones incidente satisface la condición de difracción de Bragg, permitiendo que una gran cantidad de electrones pasen a través de la red, exhibiendo así una "canalización". efecto.

Para materiales policristalinos con composición uniforme y superficies planas pulidas, la intensidad de los electrones retrodispersados ​​depende de la orientación relativa entre el haz de electrones incidente y los planos del cristal. Los granos con una mayor variación de orientación exhiben señales más fuertes, por lo tanto, imágenes más brillantes; se logra una caracterización cualitativa con dicho mapa de orientación de granos.


ⶠImagen multicanal simultánea a través de varios detectores


ⶠDetector retráctil de microscopía electrónica de transmisión de barrido (STEM)

FESEM Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Detector

Múltiples modos de funcionamiento: Imágenes de campo brillante (BF), imágenes de campo oscuro (DF), imágenes de campo oscuro anular de ángulo alto (HAADF)


ⶠAvances en microscopía electrónica CIQTEK: más opciones

Espectrometría de dispersión de energía

  • Energy Dispersive Spectrometry

Catoluminiscencia

  • sem image analysis -Catholuminescence
  • sem image analysis - Catholuminescence

EBSD

  • sem EBSD
  • sem EBSD

ⶠSoftware de análisis de poros y partículas (partículas) *Opcional

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

El software CIQTEK SEM Microscope emplea varios algoritmos de segmentación y detección de objetivos, adecuados para diferentes tipos de muestras de partículas y poros. permite el análisis cuantitativo de estadísticas de partículas y poros y se puede aplicar en campos como la ciencia de los materiales, la geología y las ciencias ambientales.


ⶠSoftware de posprocesamiento de imágenes *Opcional

SEM Microscope Image Post-processing Software

Realice un posprocesamiento de imágenes en línea o fuera de línea en imágenes capturadas por microscopios electrónicos e integre funciones de procesamiento de imágenes EM de uso común, prácticas herramientas de medición y anotación.


ⶠMedición automática *Opcional

SEM Microscope software Auto Measure

Reconocimiento automático de los bordes del ancho de línea, lo que resulta en mediciones más precisas y mayor consistencia. Admite múltiples modos de detección de bordes, como Línea, Espacio, Paso, etc. Compatible con múltiples formatos de imagen y equipado con varias funciones de posprocesamiento de imágenes de uso común. El software es fácil de usar, eficiente y preciso.


ⶠKit de desarrollo de software (SDK) *Opcional

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

Proporciona un conjunto de interfaces para controlar el microscopio SEM, incluida la adquisición de imágenes, la configuración de las condiciones de funcionamiento, el encendido/apagado, el control de la etapa, etc. Las definiciones de interfaz concisas permiten el rápido desarrollo de scripts y software de operación específicos del microscopio electrónico, lo que permite seguimiento automatizado de regiones de interés, adquisición de datos de automatización industrial, corrección de deriva de imágenes y otras funciones. Puede usarse para el desarrollo de software en áreas especializadas como análisis de diatomeas, inspección de impurezas del acero, análisis de limpieza, control de materias primas, etc.


ⶠMapa automático *Opcional

FESEM Microscope software Auto Measure

Especificaciones del microscopio CIQTEK SEM5000X FESEM
Óptica electrónica Resolución 0,6 nm a 15 kV, SE
1,0 nm a 1 kV, SE
Voltaje de aceleración 0,02 kV ~30 kV
Ampliación 1 ~ 2.500.000 x
Tipo de pistola de electrones Cañón de electrones de emisión de campo Schottky
Cámara de muestras Cámaras Cámaras duales (navegación óptica + monitor de cámara)
Tipo de etapa Plataforma de muestra eucéntrica mecánica de 5 ejes
Rango de escenario X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm
T: -10*~+70°, R: 360°
Detectores y extensiones SEM Estándar Detector en lente
Detector Everhart-Thornley (ETD)
Opcional

Detector retráctil de electrones retrodispersados ​​(BSED)

Detector retráctil de microscopía electrónica de transmisión de barrido (STEM)

Detector de vacío bajo (LVD)

Espectrómetro de dispersión de energía (EDS / EDX)

Patrón de difracción de retrodispersión de electrones (EBSD)

Bloqueo de carga de intercambio de muestras (4 pulgadas/8 pulgadas)

Panel de control de perilla y trackball

Modo Duo-Dec (Duo-Dec)

Interfaz de usuario Idiomas inglés
Sistema operativo Windows
Navegación Navegación óptica, navegación rápida por gestos, trackball (opcional)
Funciones automáticas Brillo y contraste automáticos, enfoque automático, estigmador automático

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