Microscopio electrónico de barrido de emisión de campo (FE-SEM) con columnas de haz de iones enfocados (FIB)
El Microscopio electrónico de barrido con haz de iones enfocado CIQTEK DB500 (FIB-SEM) adopta tecnología de óptica electrónica “SuperTunnel”, baja aberración y diseño de objetivo no magnético con bajo voltaje y capacidad de alta resolución para garantizar El análisis a nanoescala. La columna de iones facilita una fuente de iones de metal líquido Ga+ con un haz de iones altamente estable y de alta calidad para nanofabricación.
FIB-SEM DB500 tiene un nanomanipulador integrado, un sistema de inyección de gas, un mecanismo eléctrico anticontaminación para la lente del objetivo y 24 puertos de expansión, lo que lo convierte en una plataforma integral de nanoanálisis y fabricación con configuraciones integrales y capacidad de expansión. .
• Tecnología de óptica electrónica "SuperTunnel" con una lente de objetivo libre de magnetismo, adecuada para imágenes de alta resolución y compatible con imágenes de muestras magnéticas.
• La columna de haz de iones enfocados (FIB) genera un haz de iones altamente estable y de alta calidad, adecuado para nanofabricación de alta calidad y preparación de muestras TEM.
• Un manipulador accionado piezoeléctricamente en la cámara de muestras con un sistema de control integrado para un manejo preciso.
• Sistema desarrollado independientemente con gran capacidad de expansión. El diseño del conjunto de fuente de iones integrado para un rápido intercambio de fuentes de iones. Servicio mundial, garantía de tres años para FIB-SEM DB500.
Resolución: 3 nm@30 kV
Corriente de la sonda (rango de corriente del haz de iones): 1 pA~50 nA
Rango de voltaje de aceleración: 0,5~30 kV
Intervalo de intercambio de fuente de iones: ≥1000 horas
Estabilidad: 72 horas de funcionamiento ininterrumpido
Cámara montada internamente
Accionamiento totalmente piezoeléctrico de tres ejes
Precisión del motor paso a paso ≤10 nm
Velocidad máxima de desplazamiento 2 mm/s
Control integrado
Diseño SIG único
Hay varias fuentes de precursores de gas disponibles
Distancia de inserción de la aguja ≥35 mm
Repetibilidad del movimiento ≤10 μm
Repetibilidad del control de temperatura de calefacción ≤0,1°C
Rango de calentamiento: Temperatura ambiente ~ 90°C (194°F)
Control integrado
Especificaciones CIQTEK FIB-SEM DB500 | ||
Sistema de haz de electrones | Tipo de pistola de electrones | Pistola de electrones de emisión de campo Schottky de alto brillo |
Resolución | 1,2 nm@15 kV | |
Voltaje de aceleración | 0,02~30 kV | |
Sistema de haz de iones | Tipo de fuente de iones | Fuente de iones de galio líquido |
Resolución | 3 nm@30 kV | |
Voltaje de aceleración | 0,5~30 kV | |
Cámara de muestras | Sistema de vacío | Control completamente automático, sistema de vacío sin aceite |
Cámaras |
Tres cámaras (Navegación óptica + monitor de cámara x2) |
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Tipo de etapa | Plataforma de muestra eucéntrica mecánica de 5 ejes | |
Rango de escenario |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10°~+70°, R:360° |
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Detectores y extensiones SEM | Estándar |
Detector en lente Detector Everhart-Thornley (ETD) |
Opcional |
Detector retráctil de electrones retrodispersados (BSED) Detector retráctil de microscopía electrónica de transmisión de barrido (STEM) Espectrómetro de dispersión de energía (EDS/EDX) Patrón de difracción de retrodispersión de electrones (EBSD) Nanomanipulador Sistema de inyección de gas Limpiador de plasma Bloqueo de carga de intercambio de muestras Panel de control de perilla y bola de seguimiento |
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Software | Idiomas | inglés |
Sistema operativo | Windows | |
Navegación | Nav-Cam, navegación rápida por gestos | |
Funciones automáticas | Brillo y contraste automáticos, enfoque automático, estigmador automático |
Microscopio electrónico de barrido con haz de iones enfocado CIQTEK FIB-SEM BD500 |
Demostración práctica CIQTEK FIB-SEM: preparación de muestras TEM |