Microscopio electrónico de barrido de emisión de campo con haz de iones enfocado Ga+
El Microscopio electrónico de barrido de haz de iones enfocado CIQTEK DB550 (FIB-SEM) Cuenta con una columna de haz de iones enfocado para el nanoanálisis y la preparación de muestras. Utiliza tecnología de óptica electrónica de "supertúnel", baja aberración y diseño de objetivo no magnético, y cuenta con la característica de "bajo voltaje y alta resolución" para garantizar sus capacidades analíticas a escala nanométrica.
Las columnas de iones facilitan una fuente de iones metálicos líquidos Ga+ con haces de iones de alta estabilidad y calidad para garantizar la nanofabricación. La DB550 es una estación de trabajo integral de nanoanálisis y fabricación con un nanomanipulador integrado, un sistema de inyección de gas y una interfaz gráfica de usuario intuitiva.
1. "Super Túnel " Tecnología de columna de óptica electrónica/desaceleración del haz en columna
Disminuye el efecto de carga espacial, garantizando un rendimiento de resolución de bajo voltaje.
2. Sin cruce en la trayectoria del haz de electrones
Reduce eficazmente las aberraciones de la lente y mejora la resolución.
3. Lente objetivo compuesta electromagnética y electrostática
Reduce las aberraciones, mejora significativamente la resolución a bajos voltajes y permite la observación de muestras magnéticas.
4. Lente objetivo de temperatura constante refrigerada por agua
Asegúrese de la estabilidad, confiabilidad y repetibilidad del rendimiento de la lente del objetivo.
5. Sistema de conmutación de apertura variable de múltiples orificios mediante deflexión del haz electromagnético
El cambio automático entre aperturas sin movimiento mecánico permite cambiar rápidamente entre distintos modos de imagen.
Resolución: 3 nm a 30 kV
Corriente de sonda: 1 pA a 65 nA
Rango de voltaje de aceleración: 0,5 kV a 30 kV
Intervalo de intercambio de fuente de iones: ≥1000 horas
Estabilidad: 72 horas de funcionamiento ininterrumpido
Cámara montada internamente
Accionamiento piezoeléctrico de tres ejes
Precisión del motor paso a paso ≤10 nm
Velocidad máxima de desplazamiento 2 mm/s
Sistema de control integrado
Diseño de SIG único
Varias fuentes de precursores de gas disponibles
Distancia de inserción de la aguja ≥35 mm
Repetibilidad del movimiento ≤10 μm
Repetibilidad del control de temperatura de calentamiento ≤0,1 °C
Rango de calentamiento: temperatura ambiente hasta 90°C (194 °F )
Sistema de control integrado
>> Semiconductor
En la industria de semiconductores, los chips de circuitos integrados (CI) pueden presentar diversas fallas. Se utilizan diversos métodos para analizar los chips y mejorar su confiabilidad. En particular, el análisis por haz de iones enfocado (FIB) es una técnica analítica confiable.
Caracterización de muestras / Fabricación micro-nano / Análisis de secciones transversales / Preparación de muestras TEM / Análisis de fallas
>> Nueva industria energética
Observación y análisis de secciones transversales de materiales para investigación y desarrollo de procesos.
Observación de morfología / Análisis del tamaño de partículas / Análisis de secciones transversales / Análisis de composición y fase / Análisis de fallos del material de batería de iones de litio / Muestra TEM P reparación
>> Material cerámico
Análisis de materiales: El sistema FIB-SEM puede realizar mecanizado y obtención de imágenes micro-nano de alta precisión de materiales cerámicos, combinado con varios modos de detección de señales como electrones retrodispersados (BSE), espectroscopia de rayos X de energía dispersiva (EDX), patrón de difracción de electrones retrodispersados (EBSD) y espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS), para estudiar el material en escala micro a nano con un espacio tridimensional en profundidad.
>> Material de aleación
Para aumentar la resistencia, dureza, tenacidad, etc., de los metales, se añaden al metal otras sustancias como cerámicas, metales, fibras, etc., mediante métodos como la metalurgia, la fundición, la extrusión, etc., que se denominan fases reforzadas.
La muestra de TEM preparada mediante un microscopio electrónico de barrido (FIB-SEM) se utiliza para observar información como las fases reforzadas y los átomos límite mediante señales electrónicas transmitidas. Las muestras de TEM pueden emplearse para análisis de difracción de Kikuchi de transmisión (TKD), análisis metalográficos, análisis composicionales y ensayos in situ de la sección transversal de aleaciones.
Plataforma de interfaz de usuario altamente integrada
Las funciones de procesamiento e imágenes del microscopio SEM están integradas en una interfaz de usuario general, con referencias comparativas mostradas a la izquierda y a la derecha.
Accesorios de hardware y interfaces de usuario de desarrollo propio, como sistema de inyección de gas y nanomanipulador, diseño intuitivo de disposición para una operación fácil de usar.
Reduce eficazmente la contaminación de la cámara Diseño de riel guía lineal, apertura y cierre tipo cajón.
>> Espectrometría de energía dispersiva
>> Catoluminiscencia
>> EBSD
Especificaciones del CIQTEK FIB-SEM DB550 | ||
Óptica electrónica | Tipo de cañón de electrones | Cañón de electrones de emisión de campo Schottky de alto brillo |
Resolución | 0,9 nm a 15 kV; 1,6 nm a 1 kV | |
Voltaje de aceleración | 0,02 kV a 30 kV | |
Sistema de haz de iones | Tipo de fuente de iones | Galio |
Resolución | 3 nm a 30 kV | |
Voltaje de aceleración | 0,5 kV a 30 kV | |
Cámara de muestras | Sistema de vacío | Control totalmente automático, sistema de vacío sin aceite |
Cámaras |
Tres cámaras (Navegación óptica x1 + monitor de cámara x2) |
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Tipo de escenario | Platina de muestra eucéntrica mecánica motorizada de 5 ejes | |
Rango de escenario |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10°~+70°, R: 360° |
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Detectores y extensiones SEM | Estándar |
Detector de electrones en lente Detector Everhart-Thornley (ETD) |
Opcional |
Detector de electrones retrodispersados retráctil (BSED) Detector de microscopía electrónica de transmisión de barrido retráctil (STEM) Espectrómetro de energía dispersiva (EDS/EDX) Patrón de difracción por retrodispersión de electrones (EBSD) Nanomanipulador Sistema de inyección de gas Limpiador de plasma Intercambio de muestras Loadlock Panel de control de trackball y perilla |
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Interfaz de usuario | Idiomas | Inglés |
Sistema operativo | Ventanas | |
Navegación | Navegación óptica, navegación rápida por gestos | |
Funciones automáticas | Brillo y contraste automáticos, enfoque automático, estigmatizador automático |