fib sem microscopy

Microscopía de barrido de fibra óptica (FIB-SEM) | DB550

Microscopio electrónico de barrido de emisión de campo con haz de iones enfocado Ga+

El Microscopio electrónico de barrido de haz de iones enfocado CIQTEK DB550 (FIB-SEM) Cuenta con una columna de haz de iones enfocado para el nanoanálisis y la preparación de muestras. Utiliza tecnología de óptica electrónica de "supertúnel", baja aberración y diseño de objetivo no magnético, y cuenta con la característica de "bajo voltaje y alta resolución" para garantizar sus capacidades analíticas a escala nanométrica.

Las columnas de iones facilitan una fuente de iones metálicos líquidos Ga+ con haces de iones de alta estabilidad y calidad para garantizar la nanofabricación. La DB550 es una estación de trabajo integral de nanoanálisis y fabricación con un nanomanipulador integrado, un sistema de inyección de gas y una interfaz gráfica de usuario intuitiva.

FIB-SEM features

1. "Super Túnel " Tecnología de columna de óptica electrónica/desaceleración del haz en columna

Disminuye el efecto de carga espacial, garantizando un rendimiento de resolución de bajo voltaje.

2. Sin cruce en la trayectoria del haz de electrones

Reduce eficazmente las aberraciones de la lente y mejora la resolución.

3. Lente objetivo compuesta electromagnética y electrostática

Reduce las aberraciones, mejora significativamente la resolución a bajos voltajes y permite la observación de muestras magnéticas.

4. Lente objetivo de temperatura constante refrigerada por agua

Asegúrese de la estabilidad, confiabilidad y repetibilidad del rendimiento de la lente del objetivo.

5. Sistema de conmutación de apertura variable de múltiples orificios mediante deflexión del haz electromagnético

El cambio automático entre aperturas sin movimiento mecánico permite cambiar rápidamente entre distintos modos de imagen.

Características técnicas del CIQTEK DB550 FIB-SEM

FIBSEM - Focused Ion Beam Column

Columna de haz de iones enfocado (FIB)

Resolución: 3 nm a 30 kV

Corriente de sonda: 1 pA a 65 nA

Rango de voltaje de aceleración: 0,5 kV a 30 kV

Intervalo de intercambio de fuente de iones: ≥1000 horas

Estabilidad: 72 horas de funcionamiento ininterrumpido


FIBSEM - Nano-manipulator

Nanomanipulador

Cámara montada internamente

Accionamiento piezoeléctrico de tres ejes

Precisión del motor paso a paso ≤10 nm

Velocidad máxima de desplazamiento 2 mm/s

Sistema de control integrado


FIBSEM - Ion Beam-Electron Beam Collaboration

Colaboración entre haces de iones y haces de electrones


FIBSEM - Gas Injection System

Sistema de inyección de gas

Diseño de SIG único

Varias fuentes de precursores de gas disponibles

Distancia de inserción de la aguja ≥35 mm

Repetibilidad del movimiento ≤10 μm

Repetibilidad del control de temperatura de calentamiento ≤0,1 °C

Rango de calentamiento: temperatura ambiente hasta 90°C (194 °F )

Sistema de control integrado

>> Semiconductor

En la industria de semiconductores, los chips de circuitos integrados (CI) pueden presentar diversas fallas. Se utilizan diversos métodos para analizar los chips y mejorar su confiabilidad. En particular, el análisis por haz de iones enfocado (FIB) es una técnica analítica confiable.

Caracterización de muestras / Fabricación micro-nano / Análisis de secciones transversales / Preparación de muestras TEM / Análisis de fallas

>> Nueva industria energética

Observación y análisis de secciones transversales de materiales para investigación y desarrollo de procesos.

Observación de morfología / Análisis del tamaño de partículas / Análisis de secciones transversales / Análisis de composición y fase / Análisis de fallos del material de batería de iones de litio / Muestra TEM P reparación

>> Material cerámico

Análisis de materiales: El sistema FIB-SEM puede realizar mecanizado y obtención de imágenes micro-nano de alta precisión de materiales cerámicos, combinado con varios modos de detección de señales como electrones retrodispersados (BSE), espectroscopia de rayos X de energía dispersiva (EDX), patrón de difracción de electrones retrodispersados (EBSD) y espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS), para estudiar el material en escala micro a nano con un espacio tridimensional en profundidad.

>> Material de aleación

Para aumentar la resistencia, dureza, tenacidad, etc., de los metales, se añaden al metal otras sustancias como cerámicas, metales, fibras, etc., mediante métodos como la metalurgia, la fundición, la extrusión, etc., que se denominan fases reforzadas.

La muestra de TEM preparada mediante un microscopio electrónico de barrido (FIB-SEM) se utiliza para observar información como las fases reforzadas y los átomos límite mediante señales electrónicas transmitidas. Las muestras de TEM pueden emplearse para análisis de difracción de Kikuchi de transmisión (TKD), análisis metalográficos, análisis composicionales y ensayos in situ de la sección transversal de aleaciones.

Interfaz gráfica de usuario

FIB-SEM software

Plataforma de interfaz de usuario altamente integrada

Las funciones de procesamiento e imágenes del microscopio SEM están integradas en una interfaz de usuario general, con referencias comparativas mostradas a la izquierda y a la derecha.

FIB-SEM software

Accesorios de hardware y interfaces de usuario de desarrollo propio, como sistema de inyección de gas y nanomanipulador, diseño intuitivo de disposición para una operación fácil de usar.

Detector Everhart-Thornley (ETD)


Detector de electrones en lente


Detector de electrones retrodispersados retráctil (BSED) *Opcional


Detector de microscopía electrónica de transmisión por barrido (STEM) *Opcional


Intercambio de muestras Loadlock

Reduce eficazmente la contaminación de la cámara Diseño de riel guía lineal, apertura y cierre tipo cajón.


Avances en microscopía electrónica CIQTEK: más opciones

>> Espectrometría de energía dispersiva

>> Catoluminiscencia

>> EBSD

Especificaciones del CIQTEK FIB-SEM DB550
Óptica electrónica Tipo de cañón de electrones Cañón de electrones de emisión de campo Schottky de alto brillo
Resolución 0,9 nm a 15 kV; 1,6 nm a 1 kV
Voltaje de aceleración 0,02 kV a 30 kV
Sistema de haz de iones Tipo de fuente de iones Galio
Resolución 3 nm a 30 kV
Voltaje de aceleración 0,5 kV a 30 kV
Cámara de muestras Sistema de vacío Control totalmente automático, sistema de vacío sin aceite
Cámaras

Tres cámaras

(Navegación óptica x1 + monitor de cámara x2)

Tipo de escenario Platina de muestra eucéntrica mecánica motorizada de 5 ejes
Rango de escenario

X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm

T: -10°~+70°, R: 360°

Detectores y extensiones SEM Estándar

Detector de electrones en lente

Detector Everhart-Thornley (ETD)

Opcional

Detector de electrones retrodispersados retráctil (BSED)

Detector de microscopía electrónica de transmisión de barrido retráctil (STEM)

Espectrómetro de energía dispersiva (EDS/EDX)

Patrón de difracción por retrodispersión de electrones (EBSD)

Nanomanipulador

Sistema de inyección de gas

Limpiador de plasma

Intercambio de muestras Loadlock

Panel de control de trackball y perilla

Interfaz de usuario Idiomas Inglés
Sistema operativo Ventanas
Navegación Navegación óptica, navegación rápida por gestos
Funciones automáticas Brillo y contraste automáticos, enfoque automático, estigmatizador automático
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