fesem edx

FESEM de ultraalta resolución | SEM5000X

Microscopía electrónica de barrido por emisión de campo de ultraalta resolución (FESEM)

El CIQTEK SEM5000X Es un FESEM de ultraalta resolución con un diseño optimizado de columna de óptica electrónica, que reduce las aberraciones generales en un 30 % y alcanza una resolución ultraalta de 0,6 nm a 15 kV y 1,0 nm a 1 kV. Su alta resolución y estabilidad lo hacen ventajoso en la investigación avanzada de materiales nanoestructurales, así como en el desarrollo y la fabricación de chips de circuitos integrados semiconductores de nodos de alta tecnología.

Óptica electrónica

SEM5000X Electron Optics

Actualización de la lente del objetivo

La aberración cromática de la lente se redujo en un 12%, la aberración esférica de la lente se redujo en un 20% y la aberración general se redujo en un 30%.

SEM5000X Electron Optics

Tecnología de desaceleración de doble haz

Desaceleración del haz en la lente, aplicable a muestras con grandes volúmenes, secciones transversales y superficies irregulares. La tecnología de doble desaceleración (desaceleración del haz en la lente + desaceleración del haz en tándem en la platina de la muestra) desafía los límites de la captura de señales en la superficie de la muestra.


Imágenes de alta resolución y bajo voltaje


Detector de electrones en lente/muestra


Detector Everhart-Thornley (ETD)


Detector de electrones retrodispersados retráctil (BSED) *Opcional

FESEM Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED)

Modo ECCI basado en BSED (imágenes de contraste por canalización de electrones)

El "efecto de canalización de electrones" se refiere a una reducción significativa en la dispersión de electrones por las redes cristalinas, cuando el haz de electrones incidente satisface la condición de difracción de Bragg, permitiendo que una gran cantidad de electrones pasen a través de la red, exhibiendo así un efecto de "canalización".

En materiales policristalinos con composición uniforme y superficies planas pulidas, la intensidad de los electrones retrodispersados depende de la orientación relativa entre el haz de electrones incidente y los planos cristalinos. Los granos con mayor variación de orientación presentan señales más intensas, lo que produce imágenes más brillantes. Con este mapa de orientación de granos se logra una caracterización cualitativa.


Imágenes multicanal simultáneas a través de varios detectores


Detector retráctil de microscopía electrónica de transmisión por barrido (STEM)

FESEM Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) Detector

>> Múltiples modos de funcionamiento: Imágenes de campo claro (BF), imágenes de campo oscuro (DF), imágenes de campo oscuro anular de ángulo alto (HAADF)


Avances en microscopía electrónica CIQTEK: más opciones

>> Espectrometría de energía dispersiva

>> Catoluminiscencia

>> EBSD

Software de análisis de partículas y poros (Particle) *Opcional

SEM Particle & Pore Analysis Software (Particle)

El software del microscopio SEM CIQTEK emplea varios algoritmos de detección y segmentación de objetivos, adecuados para diferentes tipos de muestras de partículas y poros. Permite el análisis cuantitativo de las estadísticas de partículas y poros y se puede aplicar en campos como la ciencia de los materiales, la geología y la ciencia ambiental.


Software de posprocesamiento de imágenes *Opcional

SEM Microscope Image Post-processing Software

Realice el posprocesamiento de imágenes en línea o fuera de línea en imágenes capturadas por microscopios electrónicos e integre funciones de procesamiento de imágenes EM de uso común, herramientas convenientes de medición y anotación.


Medición automática *Opcional

SEM Microscope software Auto Measure

Reconocimiento automático de los bordes del ancho de línea, lo que resulta en mediciones más precisas y una mayor consistencia. Admite múltiples modos de detección de bordes, como Línea, Espacio, Paso, etc. Compatible con múltiples formatos de imagen y equipado con diversas funciones de posprocesamiento de imágenes de uso común. El software es fácil de usar, eficiente y preciso.


Kit de desarrollo de software (SDK) *Opcional

SEM Microscope Software Development Kit (SDK)

Proporciona un conjunto de interfaces para controlar el microscopio electrónico de barrido (SEM), incluyendo la adquisición de imágenes, la configuración de las condiciones de funcionamiento, el encendido y apagado, el control de la platina, etc. Las definiciones de interfaz concisas permiten el desarrollo rápido de scripts y software específicos para el funcionamiento del microscopio electrónico, lo que permite el seguimiento automatizado de regiones de interés, la adquisición de datos para automatización industrial, la corrección de la deriva de la imagen y otras funciones. Se puede utilizar para el desarrollo de software en áreas especializadas como el análisis de diatomeas, la inspección de impurezas del acero, el análisis de limpieza, el control de materias primas, etc.


AutoMap *Opcional

FESEM Microscope software Auto Measure

Especificaciones del microscopio FESEM CIQTEK SEM5000X
Óptica electrónica Resolución 0,6 nm a 15 kV, SE
1,0 nm a 1 kV, SE
Voltaje de aceleración 0,02 kV ~30 kV
Aumento 1 ~ 2.500.000 x
Tipo de cañón de electrones Cañón de electrones de emisión de campo Schottky
Cámara de muestras Cámaras Cámaras duales (navegación óptica + monitor de cámara)
Tipo de escenario Platina de muestra eucéntrica mecánica de 5 ejes
Rango de escenario X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm
T: -10*~+70°, R: 360°
Detectores y extensiones SEM Estándar Detector en lente
Detector Everhart-Thornley (ETD)
Opcional

Detector de electrones retrodispersados retráctil (BSED)

Detector de microscopía electrónica de transmisión de barrido retráctil (STEM)

Detector de bajo vacío (LVD)

Espectrómetro de energía dispersiva (EDS/EDX)

Patrón de difracción por retrodispersión de electrones (EBSD)

Bloqueo de carga para intercambio de muestras (4 pulgadas / 8 pulgadas)

Panel de control de trackball y perilla

Modo Duo-Dec (Duo-Dec)

Interfaz de usuario Idiomas Inglés
Sistema operativo Ventanas
Navegación Navegación óptica, navegación rápida por gestos, trackball (opcional)
Funciones automáticas Brillo y contraste automáticos, enfoque automático, estigmatizador automático

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