Microscopía electrónica de barrido por emisión de campo de ultraalta resolución (FESEM)
El CIQTEK SEM5000X Es un FESEM de ultraalta resolución con un diseño optimizado de columna de óptica electrónica, que reduce las aberraciones generales en un 30 % y alcanza una resolución ultraalta de 0,6 nm a 15 kV y 1,0 nm a 1 kV. Su alta resolución y estabilidad lo hacen ventajoso en la investigación avanzada de materiales nanoestructurales, así como en el desarrollo y la fabricación de chips de circuitos integrados semiconductores de nodos de alta tecnología.
(*Opcional)
Actualización de la lente del objetivo
La aberración cromática de la lente se redujo en un 12%, la aberración esférica de la lente se redujo en un 20% y la aberración general se redujo en un 30%.
Tecnología de desaceleración de doble haz
Desaceleración del haz en la lente, aplicable a muestras con grandes volúmenes, secciones transversales y superficies irregulares. La tecnología de doble desaceleración (desaceleración del haz en la lente + desaceleración del haz en tándem en la platina de la muestra) desafía los límites de la captura de señales en la superficie de la muestra.
El "efecto de canalización de electrones" se refiere a una reducción significativa en la dispersión de electrones por las redes cristalinas, cuando el haz de electrones incidente satisface la condición de difracción de Bragg, permitiendo que una gran cantidad de electrones pasen a través de la red, exhibiendo así un efecto de "canalización".
En materiales policristalinos con composición uniforme y superficies planas pulidas, la intensidad de los electrones retrodispersados depende de la orientación relativa entre el haz de electrones incidente y los planos cristalinos. Los granos con mayor variación de orientación presentan señales más intensas, lo que produce imágenes más brillantes. Con este mapa de orientación de granos se logra una caracterización cualitativa.
>> Múltiples modos de funcionamiento: Imágenes de campo claro (BF), imágenes de campo oscuro (DF), imágenes de campo oscuro anular de ángulo alto (HAADF)
>> Espectrometría de energía dispersiva
>> Catoluminiscencia
El software del microscopio SEM CIQTEK emplea varios algoritmos de detección y segmentación de objetivos, adecuados para diferentes tipos de muestras de partículas y poros. Permite el análisis cuantitativo de las estadísticas de partículas y poros y se puede aplicar en campos como la ciencia de los materiales, la geología y la ciencia ambiental.
Realice el posprocesamiento de imágenes en línea o fuera de línea en imágenes capturadas por microscopios electrónicos e integre funciones de procesamiento de imágenes EM de uso común, herramientas convenientes de medición y anotación.
Reconocimiento automático de los bordes del ancho de línea, lo que resulta en mediciones más precisas y una mayor consistencia. Admite múltiples modos de detección de bordes, como Línea, Espacio, Paso, etc. Compatible con múltiples formatos de imagen y equipado con diversas funciones de posprocesamiento de imágenes de uso común. El software es fácil de usar, eficiente y preciso.
Proporciona un conjunto de interfaces para controlar el microscopio electrónico de barrido (SEM), incluyendo la adquisición de imágenes, la configuración de las condiciones de funcionamiento, el encendido y apagado, el control de la platina, etc. Las definiciones de interfaz concisas permiten el desarrollo rápido de scripts y software específicos para el funcionamiento del microscopio electrónico, lo que permite el seguimiento automatizado de regiones de interés, la adquisición de datos para automatización industrial, la corrección de la deriva de la imagen y otras funciones. Se puede utilizar para el desarrollo de software en áreas especializadas como el análisis de diatomeas, la inspección de impurezas del acero, el análisis de limpieza, el control de materias primas, etc.
CIQTEK FESEM SEM5000X de ultraalta resolución |
Dentro de la fábrica de CIQTEK: Recorrido por la fabricación de microscopios electrónicos |
Especificaciones del microscopio FESEM CIQTEK SEM5000X | ||
Óptica electrónica | Resolución |
0,6 nm a 15 kV, SE
1,0 nm a 1 kV, SE |
Voltaje de aceleración | 0,02 kV ~30 kV | |
Aumento | 1 ~ 2.500.000 x | |
Tipo de cañón de electrones | Cañón de electrones de emisión de campo Schottky | |
Cámara de muestras | Cámaras | Cámaras duales (navegación óptica + monitor de cámara) |
Tipo de escenario | Platina de muestra eucéntrica mecánica de 5 ejes | |
Rango de escenario |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm
T: -10*~+70°, R: 360° |
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Detectores y extensiones SEM | Estándar |
Detector en lente
Detector Everhart-Thornley (ETD) |
Opcional |
Detector de electrones retrodispersados retráctil (BSED) Detector de microscopía electrónica de transmisión de barrido retráctil (STEM) Detector de bajo vacío (LVD) Espectrómetro de energía dispersiva (EDS/EDX) Patrón de difracción por retrodispersión de electrones (EBSD) Bloqueo de carga para intercambio de muestras (4 pulgadas / 8 pulgadas) Panel de control de trackball y perilla Modo Duo-Dec (Duo-Dec) |
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Interfaz de usuario | Idiomas | Inglés |
Sistema operativo | Ventanas | |
Navegación | Navegación óptica, navegación rápida por gestos, trackball (opcional) | |
Funciones automáticas | Brillo y contraste automáticos, enfoque automático, estigmatizador automático |