Microscopía electrónica de barrido por emisión de campo de resolución ultraalta (FESEM): 0,6 nm a 15 kV y 1,0 nm a 1 kV
El CIQTEK SEM5000X FESEM de resolución ultra alta utiliza el proceso de ingeniería de columnas mejorado, la tecnología "SuperTunnel" y el diseño de lente objetivo de alta resolución para mejorar la resolución de imágenes de bajo voltaje.
Los puertos de la cámara de muestras FESEM SEM5000X se extienden a 16 y el bloqueo de carga de intercambio de muestras admite un tamaño de oblea de hasta 8 pulgadas (diámetro máximo 208 mm), lo que amplía significativamente las aplicaciones. Los modos de escaneo avanzados y las funciones automatizadas mejoradas brindan un rendimiento más sólido y una experiencia aún más optimizada.
(*Accesorios opcionales para FESEM SEM5000X)
Especificaciones de CIQTEK FESEM SEM5000X |
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Parámetros clave | Resolución |
0,6 nm a 15 kV, EE 1,0 nm a 1 kV, EE |
Voltaje de aceleración | 0,02~30 kV | |
Ampliación | 1~2.500.000 x | |
Tipo de pistola de electrones | Cañón de electrones de emisión de campo Schottky | |
Cámara de muestras |
Sistema de vacío
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Control totalmente automatizado |
Cámaras | Cámaras duales (navegación óptica + monitor de cámara) | |
Tipo de etapa | Plataforma de muestra eucéntrica mecánica de 5 ejes | |
Rango de escenario |
X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm T: -10*~+70°, R: 360° |
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Detectores y extensiones SEM | Estándar |
Detector en lente Detector Everhart-Thornley (ETD) |
Opcional |
Detector retráctil de electrones retrodispersados (BSED) Detector retráctil de microscopía electrónica de transmisión de barrido (STEM) Espectrómetro de dispersión de energía (EDS/EDX) Patrón de difracción de retrodispersión de electrones (EBSD) Bloqueo de carga para intercambio de muestras (4" y 8" opcional) Panel de control de perillas y trackball Desaceleración en tándem de la etapa de muestra Sistema de envolvente para campo magnético y ruido acústico (certificado SEMI) |
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Software | Idiomas |
inglés |
Sistema operativo |
Windows |
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Navegación |
Nav-Cam, navegación rápida por gestos |
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Funciones automáticas |
Brillo y contraste automáticos, enfoque automático, estigmador automático |