El microscopio electrónico de barrido con haz de iones focalizado (FIB-SEM) de doble haz CIQTEK DB550 combina la obtención de imágenes electrónicas de alta resolución y el procesamiento de precisión mediante haz de iones en una única plataforma.
CIQTEK ha validado su Microscopio electrónico de barrido con haz de iones focalizado DB550 (FIB-SEM) en muestras reales de chips de nodo de proceso de 5 nm, Se demuestra la preparación de muestras TEM listas para producción, con estructuras de aletas intactas, cero amorfización y capas de película claramente definidas. Los resultados confirman que el DB550 cumple con las exigentes demandas de los laboratorios avanzados de análisis de fallas de semiconductores que trabajan a la vanguardia de la tecnología de procesos.
En la investigación y fabricación de chips avanzados, dos herramientas son fundamentales. El microscopio electrónico de transmisión (TEM) permite observar estructuras a escala atómica. Pero antes de poder hacerlo, se necesita una muestra lo suficientemente delgada para que los electrones la atraviesen. Aquí es donde entra en juego el FIB-SEM de doble haz. Es el laboratorio de precisión que prepara esas muestras ultrafinas.
Presentamos el DB550: una plataforma para imágenes y procesamiento a nanoescala.
El CIQTEK DB550 FIB-SEM Integra dos potentes capacidades en una única plataforma. Por un lado, un microscopio electrónico de barrido (SEM) proporciona imágenes de superficie de alta resolución. Por otro, un haz de iones focalizado (FIB) realiza la eliminación de material a nanoescala con precisión quirúrgica. Juntas, salvan la distancia entre la observación y la fabricación en dimensiones que se miden en milmillonésimas de metro.
En el corazón del DB550 se encuentra un columna de electrones de bajo voltaje y alta resolución combinado con la tecnología patentada de CIQTEK Columna iónica "Changying" Desarrollada íntegramente en la empresa, la columna Chengying es el motor que impulsa las capacidades de corte y grabado a nanoescala del sistema. CIQTEK controla todo el proceso de diseño y fabricación de este componente fundamental.
El desafío de los 5 nm: por qué la preparación de muestras se vuelve más difícil con cada nodo
En 5 nm y menores Las arquitecturas de chips se basan en transistores de efecto de campo de tipo aleta (FinFET) con anchos y pasos de aleta que se miden en tan solo unos pocos nanómetros. El DB550 está diseñado para manejar todo el flujo de trabajo de preparación de muestras para estos exigentes nodos de proceso. Comienza con corte basto de alta corriente para eliminar rápidamente el material a granel y llegar a la región objetivo. Luego pasa a pulido fino de bajo voltaje para adelgazar la muestra hasta alcanzar las dimensiones adecuadas para su observación mediante microscopía electrónica de transmisión (TEM) sin dañar las delicadas estructuras subyacentes.
Validación TEM: La prueba está en la imagen.
CIQTEK Se preparó una muestra de chip con un proceso de fabricación de 5 nm en el DB550 y se transfirió a un microscopio electrónico de transmisión (TEM) para su caracterización. Los resultados hablan por sí solos.
La caracterización mediante microscopía electrónica de transmisión (TEM) de una muestra de chip de 5 nm preparada en el DB550 muestra estructuras de aletas intactas con capas de película claras y bien definidas, y sin daños por amorfización.
Las imágenes TEM revelaron que la Las estructuras de las aletas permanecieron completamente intactas. después de la preparación con FIB. No se detectó amorfización en la red cristalina del silicio. Las capas individuales de la película parecían claro y nítidamente definido en la sección transversal de TEM. Estos resultados validan el rendimiento de preparación de muestras de doble haz del DB550 en los nodos de proceso más avanzados.
Diseñado para la fiabilidad, construido para durar.
Los microscopios electrónicos son la herramienta principal en los laboratorios de análisis de fallas de semiconductores. CIQTEK desarrolla el DB550 desde cero, cubriendo toda la pila tecnológica desde Hardware central para algoritmos subyacentes La columna de iones Chengying, de diseño propio, la óptica electrónica, la mecánica de la platina y el software de control están diseñados y optimizados como un sistema integrado.
Controlar el diseño completo fortalece la resiliencia de la cadena de suministro. Cada componente crítico se obtiene a través del proceso de desarrollo controlado de CIQTEK. Para los laboratorios de semiconductores que dependen del tiempo de actividad de los instrumentos para el análisis del rendimiento de la producción y la investigación de fallas, esta previsibilidad es fundamental.
CIQTEK respalda el DB550 con Soporte técnico continuo, fiable y eficaz La empresa también ofrece soporte para aplicaciones, con el fin de ayudar a los laboratorios a desarrollar y optimizar recetas de preparación para nuevos nodos de proceso y arquitecturas de dispositivos innovadoras.
