CIQTEK lanza una solución de inspección de obleas de 12 pulgadas para un análisis no destructivo, de alta resolución y cobertura total.
CIQTEK lanza una solución de inspección de obleas de 12 pulgadas para un análisis no destructivo, de alta resolución y cobertura total.
September 22, 2025
CIQTEK
ha presentado su próxima generación
oblea de 12 pulgadas
microscopio electrónico de barrido (MEB)
solución
Diseñado para satisfacer las demandas de los procesos avanzados de fabricación de semiconductores. Al ofrecer inspección completa de obleas sin necesidad de rotación ni inclinación, esta innovadora solución garantiza un análisis no destructivo de alta resolución para respaldar el desarrollo de procesos críticos.
Equipado con un
escenario de viaje ultragrande
(X/Y ≥ 300 mm), el sistema proporciona una cobertura completa de obleas de 30 cm, eliminando la necesidad de cortar o transferir muestras. Esto garantiza una observación fiel del tamaño y la posición originales. Con un
Cañón de electrones de emisión de campo Schottky
, logra una resolución de
1,0 nm
a 15 kV y 1,5 nm a 1 kV, minimizando el daño del haz de electrones, lo que lo hace ideal para materiales y estructuras sensibles.
Características principales
incluir:
Etapa de viaje ultra grande
(X/Y > 300 mm) para inspección de oblea completa
Imágenes de alta resolución
: 1,0 nm a 15 kV y 1,5 nm a 1 kV
Carga automatizada
y
sistema de navegación óptica
Para un intercambio rápido de obleas y un posicionamiento preciso
Software inteligente
Para enfoque automático, corrección de astigmatismo y salida de imágenes multiformato
El SEM de inspección de obleas de 12 pulgadas de CIQTEK es más que una simple herramienta de observación; es un instrumento fundamental que impulsa mayores rendimientos y nodos más pequeños en la fabricación de semiconductores.
26 al 30 de septiembre, Wuhan
CIQTEK presentará
ocho soluciones de microscopía electrónica de vanguardia
al
Conferencia Nacional China de Microscopía Electrónica 2025
!
Georgia + Microscopio electrónico de barrido con emisión de campo de haz de iones enfocado El Microscopio electrónico de barrido de haz de iones enfocado CIQTEK DB550 (FIB-SEM) Cuenta con una columna de haz de iones enfocado para nanoanálisis y preparación de muestras. Utiliza tecnología de óptica electrónica de "supertúnel", baja aberración y diseño de objetivo no magnético, además de la característica de "bajo voltaje y alta resolución" que garantiza sus capacidades analíticas a escala nanométrica. Las columnas de iones facilitan una Ga + Fuente de iones metálicos líquidos con haces de iones de alta estabilidad y calidad para garantizar la nanofabricación. La DB550 es una estación de trabajo integral de nanoanálisis y fabricación con un nanomanipulador integrado, un sistema de inyección de gas y una interfaz gráfica de usuario intuitiva.
Microscopía electrónica de barrido por emisión de campo de ultraalta resolución (FESEM) El CIQTEK SEM5000X Es un FESEM de ultraalta resolución con un diseño optimizado de columna de óptica electrónica, que reduce las aberraciones generales en un 30 % y alcanza una resolución ultraalta de 0,6 nm a 15 kV y 1,0 nm a 1 kV. Su alta resolución y estabilidad lo hacen ventajoso en la investigación avanzada de materiales nanoestructurales, así como en el desarrollo y la fabricación de chips de circuitos integrados semiconductores de nodos de alta tecnología.
Ultraalta resolución Microscopio electrónico de barrido con filamento de tungsteno El CIQTEK SEM3300 Microscopio electrónico de barrido (SEM) Incorpora tecnologías como la óptica electrónica de "supertúnel", detectores de electrones en la lente y lentes de objetivo compuestas electrostáticas y electromagnéticas. Al aplicar estas tecnologías al microscopio de filamento de tungsteno, se supera el límite de resolución de este tipo de microscopio electrónico de barrido (MEB), lo que permite realizar análisis de bajo voltaje que antes solo se podían realizar con MEB de emisión de campo.
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